FESTO活塞閥VUVG-L10-M52-RTZ-Q6H-U-1L1L
材料備注  含有PWIS 物質符合 RoHS
密封件的材料信息  HNBRNBR
創建壓力分區和隔離排氣
通過氣路板和氣源板實現進氣和排氣。
VUVG的氣源板位置和通道隔離可自由選擇。
通過合適的通道隔離斷開氣路板
之間的內部進氣通道可創建壓力分區。
VUVG的壓力分區數只受氣路板上閥位數的限制。
注意：每個氣源板占用一個閥位。

氣路板VABM-L1-10S-G18-… 用于2到10, 12, 14和16 個閥位
電磁閥VUVG- … 管式閥，兩位五通，單電控
電磁閥VUVG- … 管式閥，2x兩位三通，兩位五通閥，雙電控和
盲板VABB-L1-10-S 用于覆蓋空閥位
氣源板VABF-L1-10-P3A4- … 用于進氣口1和氣口3和5
H型導軌NRH-35-2000 用于安裝閥島
H型導軌安裝件VAME-T-M4 2件，用于將閥島安裝到H型導軌上
隔離件VABD-… 用于創建壓力分區
帶電纜插座NEBV-H1G2-…-LE2 用于E-box H2和H3
帶螺紋快插接頭QS… 用于氣口2和4
帶螺紋快插接頭QS… 用于氣源，氣口1
消聲器U… 用于氣口3和5
保護蓋VMPA-HB…-B 用于手控裝置
標簽支架ASLR-D 用于安放標簽和覆蓋安裝螺絲/手控裝置
保護蓋VAMC 用于手控裝置
FESTO活塞閥VUVG-L10-M52-RTZ-Q6H-U-1L1L


7654 真空開關頭      VUV
152892 真空開關頭      D:S-PAK-LC3+VUV